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化學方法：臭氧、氯、酒精、去垢劑等等

物理方法：加熱、滲透壓、輻射和過濾 

等效的殺菌方法還包括臭氧處理以及紫外光氧化。

細菌的DNA暴露在紫外輻射之下會被改性。這一過程不可逆。最有效的殺菌波長在265nm左右，

這是因為這一波長的紫外光能量最易被像胸腺嘧啶和胞嘧啶這樣的嘧啶堿基所吸收。細菌的

燈的類型和照射時間，同時和水通過紫外燈的駐留時間以及流速相關。

臭氧處理：

   卓越超純水系統臭氧是一種有效的殺菌劑。和化學處理（比如氯處理）不同，臭氧處理不會產生任何化學殘留物，因此不會有任何有害的副作用。氧化細菌和其他化學藥劑后，臭氧會在20分鐘內自行消解，分解為純氧氣。這種方法成功的應用于無菌水的生產。